مقدمة عن نظام الفراغ وتركيبة هيكل النظام

نظام الفراغ هو في الواقع اسم مشابه لوحدة الفراغ، ووحدة الفراغ هي مجموعة من معدات الفراغ ذات الحلقة المغلقة تتكون من عدة مضخات فراغ. هناك العديد من أنواع معدات تطبيق الفراغ، ولكن بغض النظر عن نوع معدات تطبيق الفراغ، فإن لديها مجموعة من أنظمة الضخ لإزالة الغاز في الحاوية المضخوخة، وذلك للحصول على ظروف الفراغ المطلوبة في الحاوية المفرغة. على سبيل المثال: معالجة الفراغ للحاوية، مع الأنابيب والصمامات لتوصيلها بمضخة الفراغ، عندما تقوم مضخة الفراغ بإخلاء الحاوية، يجب أن يكون للحاوية جهاز قياس فراغ، والذي يشكل أبسط نظام ضخ فراغ.

أي نظام فراغ يتكون من أكثر من مضختين فراغ في سلسلة، وعادة ما تسمى المضخة التي تضخ فراغًا منخفضًا مضخة الفراغ العالية العلوية قبل المضخة (أو المضخة الأولية)، ويسمى أعلى مستوى لمضخة الفراغ المضخة الرئيسية لنظام الفراغ، أي المضخة الأكثر أهمية، يتم تحديد درجة الفراغ القصوى في الحاوية المضخوخة ودرجة الفراغ العاملة بواسطة المضخة الرئيسية. يسمى الأنبوب بين مخرج الحاوية المضخوخة ومدخل المضخة الرئيسية أنبوب الفراغ العالي، ويسمى الصمام عند مدخل المضخة الرئيسية الصمام الرئيسي.

عادةً ما تعمل المضخة الأمامية أيضًا كمضخة فراغ مسبق. يُطلق على خط الأنابيب بين الحاوية المضخوخة والمضخة اسم خط أنابيب الفراغ المسبق، ويُطلق على الصمام الموجود على خط الأنابيب اسم صمام خط أنابيب الفراغ المسبق. يُطلق على الأنبوب بين مخرج المضخة الرئيسية ومدخل المضخة الأمامية اسم الأنبوب الأمامي، ويُطلق على الصمام الموجود على الأنبوب اسم صمام الأنبوب الأمامي، ويتم ضبط أنبوب التوصيل الناعم لعزل اهتزاز المضخة الأمامية.

باختصار، يتكون نظام الفراغ الأفضل من المكونات التالية:

1. معدات الضخ: مثل مضخات التفريغ المختلفة

2. صمام الفراغ

3. توصيل الأنابيب

4، جهاز قياس الفراغ: مثل مقياس ضغط الفراغ، واللوائح المختلفة

5. المكونات الأخرى: مثل المجمع، مجمع الغبار، رأس مقياس مرحل الفراغ، خزان تخزين الغاز، إلخ.

يمكن تلخيص نظام الفراغ في جملة واحدة: نظام استخلاص يستخدم للحصول على درجة فراغ محددة مطلوبة.

المحتوى الأساسي لتصميم نظام الفراغ: وفقًا لمتطلبات درجة فراغ الحاوية المضخوخة، اختر مخطط تصميم نظام الفراغ المناسب، وحدد حساب المضخة وطابقه؛ حدد الأنبوب والصمام والفخ ومكونات قياس الفراغ وما إلى ذلك، والتكوين المعقول، وأخيرًا ارسم رسم تجميع نظام الفراغ ورسم الأجزاء.